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一种提拉法晶体生长炉

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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所属领域:
人工智能
项目成果/简介:

一种提拉法晶体生长炉，属于提拉法单晶生长装置，解决现有

提拉法晶体生长炉内由于冷却气的非对称流动引起的不稳定性和熔体

内包裹体杂质在晶体中聚集的问题。本发明包括炉体、基座、内隔热

层、电磁感应加热器、炉盖、坩埚、坩埚盖和籽晶杆；坩埚内固定有

坩埚整流筒，坩埚整流筒下端具有沿圆周均布的矩形孔；籽晶杆下部

通过径向呈辐射状均匀分布的肋条与隔热环连接，所述隔热环为圆环

形，其外径与内隔热层的内径相适应。本发明设计简单可靠，能够有

项目阶段:
试用
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