本发明公开了一种控制流量的水蒸气发生方法及装置,通过氢气与金属氧化物颗粒在高温条件下反应生成水蒸气,其中金属氧化物颗粒中的金属阳离子的氧化性强于氢离子。由于高温条件下氢气与金属氧化物颗粒的反应速率很快,且反应属于不可逆反应,氢气可被完全氧化,能连续产生浓度接近 100%的高纯水蒸气;且水蒸气的流量完全受氢气的流量控制。由于氢气的流量控制精度很高,因此比起传统液态水发生水蒸气的发生方法,本发明对水蒸气流量的控制精度大<