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一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制备方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 陶瓷靶材
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制备方法

发明专利/实用新型/:发明授权

简介:本发明公开了一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制

备方法,其将纯度为 99.99%以上的金属镓原料溶解于酸中,配制澄清

的镓盐溶液,加入沉淀剂产生沉淀物,将获得的沉淀经洗涤、过滤、

干燥、煅烧制成单分散超细氧化镓粉体;用合成的单分散氧化镓粉体

作为原料,经模压成型和冷等静压强化获得氧化镓生坯,将生坯放在

高温炉

项目阶段:
试用
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