本发明公开了一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法,其包括如下 步骤:首先配置镓盐溶液、铟盐溶液和锌盐溶液;然后使用不含碱金 属的碱液作为沉淀剂,并采用三步沉淀法分别使所述镓盐溶液、铟盐 溶液以及锌盐溶液中的镓离子、铟离子、锌离子在不同 pH 值下先后沉 淀,以制备铟镓锌氧化物前驱体粉体;最后将制备的所述铟镓锌氧化 物前驱体粉体经洗涤、过滤、干燥、退火后制成获得高纯单相铟镓锌 氧化物粉体 InGaZnO4。本发明可制备具有高