一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法

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本发明公开了一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法，其包括如下

步骤：首先配置镓盐溶液、铟盐溶液和锌盐溶液；然后使用不含碱金

属的碱液作为沉淀剂，并采用三步沉淀法分别使所述镓盐溶液、铟盐

溶液以及锌盐溶液中的镓离子、铟离子、锌离子在不同 pH 值下先后沉

淀，以制备铟镓锌氧化物前驱体粉体；最后将制备的所述铟镓锌氧化

物前驱体粉体经洗涤、过滤、干燥、退火后制成获得高纯单相铟镓锌

氧化物粉体 InGaZnO4。本发明可制备具有高

试用