一种可调薄膜体声波谐振器及其制备方法

高端装备制造

本发明公开了一种可调薄膜体声波谐振器及其制备方法，该制

备方法包括步骤 S1：在洁净的 Si 衬底上制备阻挡层；S2：在阻挡层上

制备布拉格反射栅，布拉格反射栅由不同声波阻抗薄膜构成；S3：在

布拉格反射栅上依次制备粘附层和底电极；S4：在底电极上制备多层

异质结构，并作为体声波谐振器的压电层；多层异质结构由 BST 薄膜、

BZT 薄膜或 BZN 薄膜构成；S5：将多层异质结构进行退火处理后形成

晶化薄膜；S6：在

未应用