镁基金属玻璃薄膜及其制备方法和应用

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本发明公开了一种镁基金属玻璃薄膜及其制备方法，它的化学

通式为 MgaCubYc，其中，a，b，c 为原子百分比，46.30≤a≤58.01，

24.61≤b≤28.96，13.18≤c≤24.74，且 a+b+c=100。本发明还公开了

一种镁基金属玻璃薄膜的制备方法，其采用磁控溅射制备得到，包括：

将 Mg、Cu 和 Y 按一定配比制备成合金靶；使用单晶硅片及普通玻璃

片作为薄膜的基底；将合金靶及薄膜基底放入溅射腔中，进行磁控

未应用