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一种 MTJ 纳米柱阵列的制备方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词： MTJ纳米柱
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所属领域:
先进制造与自动化
项目成果/简介:

本发明公开了一种 MTJ 纳米柱阵列的制备方法，包括 S1 在基

底上表面制备电子束光刻对准所需要的定标符；S2 根据定标符在基底

上表面制备底电极层，底电极层包括多条平行的底电极线；S3 在附着

有底电极层的基底上表面涂覆一层 HSQ，通过电子束曝光对 HSQ 层

进行图形化，在每一条底电极线上形成多个绝缘单元；每一个绝缘单

元的中间具有一个孔；S4 依次通过光刻、溅射和剥离工艺在绝缘单元

的孔内形成磁性多层膜层；

项目阶段:
试用
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