基于超材料的远红外单谱信号探测器及其制备方法

人工智能

本发明公开了一种基于超材料的远红外单谱信号探测器，包括

·798·

自下而上依次设置的衬底层、N 型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、

欧姆电极和肖特基电极。超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开

环共振单元阵列，所述金属开环共振单元阵列包含了一种图形及其特

征尺寸参数，该图形对于远红外电磁波具有完全吸收特性，通过改变

金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频

段，通过改变 N 型砷化镓的耗尽层宽度可

试用