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一种偏振衍射光栅结构

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 光栅结构
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

本发明公开了一种偏振衍射光栅结构,包括基底层、光栅层,

其特征在于:光栅层的各块状区域栅条方向、周期、占空比不同;光

栅层位于基底层上方,需经过曝光、显影、刻蚀形成光栅层;本发明

可以克服传统偏振衍射光栅参数调整只有一个自由度的缺点,从三个

自由度来控制光栅透射光的分布,以达到任意光束的分束/合束功能,

其理论分/合束效率达 99%,且光栅器件的体积小,可应用在抗反射器、

相干偏振合束、测量 Stokes 参量、生物

项目阶段:
试用
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