基于超材料的太赫兹单谱信号探测器及其制备方法

人工智能

本发明公开了一种基于超材料的太赫兹单谱信号探测器，包括

自下而上依次设置的衬底层、N 型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、

欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金

属开环共振单元阵列，金属开环共振单元阵列包含了一种图形及其特

征尺寸参数，该图形对于太赫兹电磁波具有完全吸收特性，通过改变

金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频

段，通过改变 N 型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环

试用