一种对射式多焦点激光分离脆性透射材料方法及装置

新材料及其应用

本发明公开了一种对射式多焦点激光分离脆性透射材料方法及

装置，该方法采用相同的工艺参数，在待分离脆性透射材料的厚度方

向两侧，每侧利用同轴激光分别穿过多焦点镜片组并反向对射，使脆

性透射材料内部产生的焦点数量加倍，以改善脆性透射材料沿厚度方

向上对激光能量吸收的均匀性，使脆性透射材料沿厚度方向的受热膨

胀均匀性增强，激光多焦点光束离开后，沿脆性透射材料厚度方向迅

速冷却而产生拉应力，实现激光对厚脆性透射材料的分离。装

未应用