一种激光辅助低温生长氮化物材料的方法与装备

生物、医药及医疗机械

本发明公开了一种激光辅助低温生长氮化物材料的方法及装备，

该方法将非氮元素的前驱体蒸汽和活性氮源前驱体气体分别输送到反

应腔室内温度为 250 至 800℃的衬底材料处，利用波长与活性氮源分

子键共振波长相等的激光束作用于活性氮源气体，使激光能量直接耦

合至活性氮源气体分子，加速 NH 键的断裂，提供充足的活性氮源，

使非氮元素与活性氮源发生化学反应，沉积第 III 族氮化物膜层材料，

持续作用直到沉积物覆盖整个衬底

未应用