一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源

其它领域

本发明公开了一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源。包

括脉冲激光器以及设置在真空腔中的反射镜、聚焦透镜、镓铟锡合金

靶材和收集镜；工作时，所述脉冲激光器发出的激光被所述反射镜反

射后到达所述聚焦透镜，在所述镓铟锡合金靶材的液面上形成聚焦光

斑，激发所述镓铟锡合金靶材产生等离子体，等离子体辐射产生极紫

外光，极紫外光被所述收集镜收集后用作测试光源。产生的极紫外光

在 13.X-nm 和 6.X-nm 波段均有较强辐射

未应用