一种光功率分束器

高端装备制造

本发明公开了一种光功率分束器，包括衬底以及在衬底上自下

而上依次排列的包层、下导波层和上导波层；上导波层为图形层，沿

水平面上向右方向依次刻蚀有输入波导、准直透镜、光束整形透镜组、

相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移器、

第二相位补偿结构和输出波导阵列；其中，准直透镜、光束整形透镜

组、相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移

器和第二相位补偿结构的厚度相同；输入波导和输出波导阵

未应用