一种多工位测试夹具

高端装备制造

本发明公开了一种用于测试的多工位夹具，该夹具包括上探针

板、下探针板、样品板；其中，上探针板设置上探针阵列，下探针板

设置下探针阵列，样品板设置于上探针板与下探针板之间，其上设置

有若干用于装载待测试的样品的工位槽，上下探针阵列上设置的探针

用于接触样品实现测试，工位槽在垂直于所述样品板的方向上分为样

品定位沉孔和竖直通孔两部分，样品定位沉孔用于装载样品，探针穿

过竖直通孔接触所述样品。按照本发明，可对不同形状尺寸的

未应用