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一种光电化学太阳能电池光电极微纳结构制造工艺

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词： 太阳能电池
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所属领域:
先进制造与自动化
项目成果/简介:

本发明公开了一种光电化学太阳能电池光电极微纳结构制造工艺，包括步骤：1)在洁净硅片上热生长一层 SiO<sub>2</sub>薄膜、2)在有 SiO<sub>2</sub>层的硅片表面光刻出圆孔阵列图形、3)刻蚀暴露的 SiO<sub>2</sub>，将光刻的图形转移到 SiO<sub>2</sub>层、4)镀Cu 膜、5)去除表面的光刻胶及光刻胶表面的 Cu、6)生长 Si 微米线阵列、7)在 Si 微

项目阶段:
未应用
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