一种频率可调的太赫兹波超材料调制器

高端装备制造

本发明公开了一种频率可调的太赫兹波超材料调制器，包括周

期排列的单元器件，每一个单元器件包括衬底、位于衬底上的功能材

料层以及位于功能材料层上的金属谐振单元；当功能材料层从绝缘相

变成金属相，功能材料层的电导率呈指数倍增加使得金属谐振单元的

中间开口电容的面积增加，金属谐振单元的谐振频率随着电容的增大

而变小实现了对单元器件的频率调谐。本发明采用在太赫兹波段低传

输损耗衬底上制作周期排列的金属开口谐振单元、利用金属绝

未应用