一种微型的桥式结构及其制备方法

先进制造与自动化

本发明提供了一种微型的桥式结构及其制备方法，包括四个悬

臂梁，金属桥面，四个金属桥墩和衬底；每一个悬臂梁均为 L 型结构，

悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与金属桥面连接；

金属桥面与悬臂梁位于同一个平面，四个悬臂梁将金属桥面悬挂于衬

底上，并在金属桥面的下底面与衬底之间形成空腔结构。方法包括在

洁净的衬底表面制备金属桥墩；在形成有金属桥墩的衬底表面涂覆牺

牲层；对牺牲层进行光刻处理后将金属桥墩顶部的牺

未应用