一种高质量氧化铝陶瓷的刻蚀加工方法及装置

高端装备制造

本发明公开了一种氧化铝陶瓷的刻蚀加工方法及装置，该方法

使洁净的氧化铝陶瓷整体位于水中，水表面到氧化铝陶瓷材料表面距

离为 2mm～12mm，利用紫外脉冲激光对氧化铝陶瓷进行扫描刻蚀加

工，刻蚀加工后的氧化铝陶瓷表面无发黑变质层和重凝层。装置包括

紫外激光器、扫描振镜，二维加工平台，以及用于装水和待加工的氧

化铝陶瓷的容器。本发明巧妙的引入“水”的因素，在一定厚度或一

定流速的水下对氧化铝陶瓷进行激光刻蚀的冷却和排渣

未应用