一种激光快速分离光学晶体方法及装置

高端装备制造

本发明公开了一种激光快速分离光学晶体方法，该方法先利用

超快激光或微型金刚石砂轮对光学晶体进行分离方向设置，在分离开

始端形成一条方向沿待分离路径的预制微裂纹；再利用聚焦激光对预

制微裂纹进行扫描加热，形成激光诱导微裂缝；沿着待分离路径快速

移动聚焦激光，直至激光移动速度与裂缝扩展速度相同，使聚焦激光

始终跟随着微裂缝最前端，并使微裂缝两侧材料发生热膨胀效应，在

微裂缝尖端产生前向挤压和侧向拉应力，将晶体材料拉开，最

未应用