本发明公开了一种六自由度主动隔振装置,具有六自由度隔振和定位功能。该装置包括下平台、上平台和六条支腿;六条支腿分别通过固定块与上平台及下平台连接,构成史都华并联机构;在下平台上的三个固定块的位置形成等边三角形,在上平台上的三个固定块的位置也形成等边三角形,六条支腿结构相同,相邻的两支腿互相垂直;各支腿均包括主动执行器和空气弹簧,主动执行器与空气弹簧形成并联结构,其中空气弹簧作为被动隔振部件。本发明采用主动和被动隔振组合方式,可实现超低频的固有频率,能对超过固有频率的振动进行有效的隔离;能够实现对六个
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