一种旋转补偿器型椭偏仪的系统误差评估及消除方法

其它领域

本发明公开了一种旋转补偿器型椭偏仪系统误差评估及消除方法该方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并求的待测样品穆勒矩阵解析表达式；然后通过对泰勒展开，获得 n 阶旋转补偿器型椭偏仪椭仪系统误差与元件误差之间的关系。最后改变旋转补偿器型椭偏仪起检器与检偏器方位角，经过四次测量，并求得四次测量结果的均值，这个均值就是已消除了椭偏仪系统误差的待测样品的穆勒矩阵。本发明方法可以获得旋转补偿器型椭偏仪由元件误差导致的系统误差的解析表达式，计算过程明确，系统误差的消除方法操作简单可行，可以适用于现有不同结构

试用