一种椭偏仪系统参数的优化方法

其它领域

本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵 W；然后计算椭偏仪系统矩阵 W 在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算出每个椭偏仪系统参数下矩阵 W 条件数的最大值与最小值的差值，并按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏仪系统参数，重复 n 次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其 n次优化后最小条件数值与第 n-1 次优化时矩阵 W 最小条件数值之间的差值，当差值大小满足要求时，则认为第 n 次优化后的椭偏仪系统参

未应用