一种广义椭偏仪的同步控制系统

其它领域

本发明属于广义椭偏仪的控制技术，具体为一种广义椭偏仪的同步控制系统。该同步控制系统至少包括：第一、第二中空伺服电机及其内置的增量式编码器、伺服电机控制器、两个补偿器、光谱仪、计算机和单片机。其中伺服电机控制器、光谱仪分别与计算机通过 USB端口连接，单片机通过串口与计算机相连，同时单片机对应引脚又分别与两中空伺服电机编码器 Z 向信号线和光谱仪 I/O 口连接。光谱仪识别到高电平并在高电平持续时间内完成光谱数据采集；根据计时器返回时间就可以计算出光谱仪开始采集时刻两补偿器光轴的位置。该方法可以精确控

未应用