旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法

先进制造与自动化

本发明公开了一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统参数的校准方法，该方法可以在一次测量中获取旋转器件型光谱椭偏仪中全光谱范围的系统参数，其方法是将任意厚度的标准样件作为待测样件，使用待校准光谱椭偏仪进行测量，对测量获得的光强谐波信号进行傅里叶分析，通过傅里叶系数序列计算获取第一个波长点的系统参数，以其作为初值，采用非线性回归算法，通过理论光谱拟合测量光谱，获得第一个波长点的系统参数。并依次以校准获得的第 i 个波长点的系统参数作为初值，拟合获得第 i+1 个波长点的系统参数，进而获得全光谱范围的系统参数。

未应用