一种基于投影莫尔原理的 BGA 共面度测量系统

高端装备制造

本发明公开了一种基于投影莫尔原理的共面度测量系统，包括冷光源(1)，准直透镜(3)，CCD 摄像机(2，4)，LCD 面板(5)，投影透镜(6)，光学平台(7)，高精度移动台(8)和计算机(9)。所述 LCD 面板(5)上显示通过所述计算机(9)产生的条纹图案，所述冷光源(1)发出的光经所述准直透镜(3)后照射到所述 LCD 面板(5)上，将显示在所述 LCD 面板(5)上的条纹图案投影到被装载在高精度移动台(8)上的参考平面或者待测物表面上，所述 CCD 摄像机为两个，对称设置于 LCD 面板(5

未应用