一种离子团束 3D 打印装置及方法

先进制造与自动化

本发明公开了一种离子团束 3D 打印装置，包括离子源、离子团 束打印头、XYZ 三轴移动平台和载物平台，离子源用于提供离子团束； 离子团束打印头包括牵引电极、一级静电透镜、限束光阑、多级磁偏 转装置和二级静电透镜，牵引电极用于从离子源中引出离子团束；一 级静电透镜用于提高离子团束的速度；多级磁偏转装置用于调整离子 团束的位置以减少像散以及实现离子团束消隐；二级静电透镜用于聚 焦得到所需孔径的离子团束；XYZ 三轴移动平台用于带动离子源和离 子团束打印头移动；载物平台，用于承接工件。本发明采用将离子团

试用