一种用于柔性膜转移的机械手控制系统

先进制造与自动化

本发明属于柔性电子生产相关设备领域，并公开了一种用于柔 性膜转移的机械手控制系统，包括多自由度机械手、多传感器反馈单 元和控制单元，其中多自由度机械手用于对柔性膜执行转移操作；多 传感器反馈单元包括 CCD 传感器、激光位移传感器、重力传感器组、 真空传感器、压力传感器等，并用于对机械手包括位置、姿态、真空度和接触力在内的多项状态指标执行检测；控制单元则基于多传感器 反馈单元的信息，对机械手整个转移过程的操作执行精确控制，同时 还可对拾取头工作段的吸附面积大小进行灵活调节。通过本发明，可 根据柔性膜

试用