本发明公开了一种压电主动隔振机构,包括第一力传感器、弹 簧波纹管、中间质量块、第一柔性铰链、压电执行器、第二力传感器、 第二柔性铰链和控制器,第二力传感器的一端用于连接基础平台,其 另一端依次连接所述第二力传感器、弹簧波纹管、中间质量块、第二 柔性铰链、压电执行器、第一力传感器、第一柔性铰链;第一力传感 器和第二压力传感器分别用于检测基础平台和负载平台的振动信号, 并分别将检测的振动信号传递给控制器,以使控制器控制压电执行器 施加作用力在负载平台上,从而对负载平台进行补偿。本发明采用双 级串联式悬置
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