一种热丝拉紧装置

先进制造与自动化

一种热丝拉紧装置，属于机械滑动部件与装置，用于有效地防 止热丝因加热而产生的伸长下垂。本发明包括盒体、滑轨，滑动板、支撑板、上端盖、左端盖、中间连接板、左端连接板、钼棒螺杆，滑 轨、滑动板以及固定在滑动板上方的支撑板共同构成了滑动系统；使 用时，所述左端盖通过螺栓与热丝沉积系统的腔体外壁连接，左端盖 的左侧面朝向热丝沉积系统内腔。本发明利用简单的弹簧、滑道等机 械部件以及铜片的温度特性，简单有效的实现了 HFCVD 系统中热丝 在加热过程中自动拉紧的目的，不仅保证衬底材料附近温度场的稳定， 而且提高

试用