一种低热阻热界面制备方法

其它领域

本发明提出了一种低热阻热界面制备方法，首先在衬底上制备定向生长碳纳米管(VACNT)，然后对VACNT 进行改性和磁化，接着通过磁对准提高 VACNT 与目标衬底间的接触几率，最后利用键合技

术实现 VACNT 与目标衬底间的键合。由于磁力和压力的共同作用，VACNT 与目标衬底间形成了保形接触，从而有效降低了界面接触热阻。本发明解决了 VACNT 直接作为热界面材料的难题，为纳米封装与互

连、低热阻封装技术研发开辟了新思路，对促进光电集成技术发展和功率器件的研发具有推动作用

未应用