一种动磁式长行程超精密直线运动机构

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本发明公开了一种动磁式长行程超精密直线运动机构，包括定 子线圈组件、气浮支承组件和永磁体动子组件，定子线圈组件包括定子气浮导轨和电感组件；气浮支承组件包括气浮轴承；永磁体动子组 件包括动子基座、永磁体安装座及永磁体组，动子基座固定安装在气 浮轴承上，动子基座向下设置永磁体安装座，每个永磁体安装座上安 装一永磁体组，永磁体组包括多个永磁体，并且同一永磁体安装座上 的永磁体的同一侧磁场极性相同，以用于驱动永磁体组和气浮轴承沿 定子气浮导轨的纵向移动。本发明采用均匀布置的长行程线圈绕组作 为定子，与传统的

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