本发明属于精密减振技术领域,为一种重载精密减振器及其构成的减振系统。减振器包括阻尼可变的低刚度空气弹簧、低水平刚度的倒立摆机构和一组三自由度主动减振执行器。空气弹簧为由节流孔连通的内外环形双气室结构;倒立摆机构由主支承杆和两根以上的柔性摆杆组成,置于环形气腔内;主动减振执行器由三个正交布置的直线电机构成。重载精密减振器通过空气弹簧产生垂向大承载力,通过空气弹簧和倒立摆机构分别隔离垂向和水平向的振动传递,通过垂向和水平向直线电机作用力进行主动控制衰减振动。减振系统由三个以上的精密重载减振器呈多边形布置
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