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一种阳极键合装置

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 阳极键合
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所属领域:
其它领域
项目成果/简介:

本发明提供了一种阳极键合设备,主要包括外腔、加压装置、电极和位于外腔底部的自动调平装置,自动调平装置含有基板,基板包括底盘和位于其上的凸台,凸台内部均匀开有至少三个沉孔,沉孔内放置弹簧,弹簧的上端放置球头柱,该球头柱为半球状的另外一端伸出沉孔与隔热基板相接触,在底盘上端凸台的外沿处设置三个均匀分布的限位杆,限位杆略高于球头柱与隔热基板的接触面,起到对隔热基板限位的作用。本发明通过自动调平装置使得整个键合装置形成上下浮动结构,在样片键合时实现自动调平,样片均匀贴合。

项目阶段:
未应用
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