一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置

先进制造与自动化

本发明公开了一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置， 包括气浮支承本体、气压主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控 制单元，气浮支承本体上设置有进气孔、节流孔和调节单元安装孔， 进气孔的进气口处和节流孔的出气口处分别设置有进气阀和出气阀； 气压主动调节单元与气浮支承本体之间形成调节腔；支承本体检测单 元用于实时检测气浮支承本体上下运动的速度、加速度和/或气浮支承 本体相对于其下方气浮导轨的距离；驱动控制单元用于将检测装置所 测得的信号进行滤波、放大及数据处理，生成驱动信号来驱动气压主 动调节单元产

试用