本发明公开一种产生近似圆偏的极紫外相干光源的方法,所述方法包括步骤:S1、对线性偏振入射激光进行增强使其强度量级达到10<sup>13</sup>~10<sup>14</sup>W/CM<sup>2</sup>;S2、将增强之后的入射激光与双原子气体分子进行相互作用产生谐波,所述谐波波谱具有两个不同方向的分量,调整所述线性偏振入射激光的偏振方向与分子轴的夹角,直至获取产生光源所需的谐波阶段,所述谐波阶段内谐波波谱分量能量强度相等