本发明公开了一种适用于柔性电子制备的多功能气压控制系统, 其包括气源调节单元、信号处理单元和信号反馈单元,气源调节单元
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包括气源组件、电磁阀组件、电控调压阀组件和气压输出口,气源依 次经过气源组件、电磁阀组件和电控调压阀组件,并由气压输出口输 出;信号处理单元包括信号处理器、电磁阀控制器和调压阀控制器, 信号处理器用于处理控制信号,电磁阀控制器用于控制气路的通断, 调压阀控制器用于调节气压;信号反馈单元包括温度传感器和气压传 感器组件,其用于将气压校正值反馈给信号
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