|
华中科技大学
华中科技大学 教育部
  • 74 高校采购信息
  • 3409 科技成果项目
  • 0 创新创业项目
  • 0 高校项目需求

一种基于位移差分的 MEMS 重力梯度仪

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
点击收藏
所属领域:
其它领域
项目成果/简介:

本发明公开了一种基于位移差分的 MEMS 重力梯度仪。包括第一振子单元和第二振子单元;前者包括第一外围框架和与第一外围框架通过第一组梁连接的第一检验质量,后者包括第二外围框架和与第二外围框架通过第二组梁连接的第二检验质量,第一组梁和第一检验质量构成第一机械振子,第二组梁和第二检验质量构成第二机械振子,第一振子单元和第二振子单元相向正对设置,第一机械振子和第二机械振子的敏感轴位于同一直线上,第一检验质量上的电容阵列与第二检验质量上的电容阵列构成位移检测电容,通过位移检测电容测得检验质量的位移差进而得到

项目阶段:
未应用
会员登录可查看 合作方式、专利情况及联系方式

扫码关注,查看更多科技成果

取消