适用于 IC 装备工件定位运动台的仿真系统及其建模方法

其它领域

本发明公开了一种适用于 IC 装备工件定位运动台的仿真系统及 建模方法，该方法包括:获取运动台基础部件的部件模型，将所述部 件模型以学科领域进行分类，构建部件级多领域模型库;选用部件级 多领域模型库中的部件模型，构建功能模块级模型库;选用所述功能 模块级模型库中的模型构建系统级模型;对系统级模型进行检查，检 查无误后设定模型参数，以完成运动台仿真系统的建模。该系统包括部件级多领域模型库、功能模块级模型库、系统级模型、模型编译及 仿真模块、输出模块。上述部件级多领域模型库、功能模块

产业化应用