一种五自由度的白光干涉原子力探针位姿调整机构

其它领域

本发明公开了一种原子力探针位姿调整机构。包括探针座，调 节机构和连接头。其中探针座用于原子力探针的安装固定;调节机构 包括由下至上的第一调节部件、第二调节部件、第三调节部件以及第 四调节部件，分别用于原子力探针的里外水平偏摆、左右水平和上下 旋转、上下俯仰以及上下竖直位姿调节;连接头用于与显微物镜相连。 本发明能够实现原子力探针姿态在五个自由度上的细微调节，各个调 节动作相互独立，彼此不发生干涉，互不影响，提高了探针姿态的调 节精度;且能够对调节后的位姿进行锁定，使其保持稳定。

产业化应用