一种低刚度的磁悬浮重力补偿器及微动台结构

其它领域

本发明属于重力补偿结构相关技术领域，其公开了一种低刚度 的磁悬浮重力补偿器，其包括动子结构及定子结构，动子结构包括外 永磁阵列环、内永磁阵列环及动子支撑框架，外永磁阵列环及内永磁 阵列环分别设置在动子支撑架的环形槽相对的两个侧壁上，内永磁阵 列环的厚度大于外永磁阵列环的厚度;定子结构包括收容于环形槽内 的线圈支架及嵌设在线圈支架上的定子永磁环，所述定子永磁环的高 度大于厚度，定子永磁环与内永磁阵列环的间距小于定子永磁环与外 永磁阵列环的间距。本发明还提供了具有上述的磁悬浮重力补偿器的 微动台结构。本

产业化应用