一种基于纳米位移计量传感器的纳米微位移检测仪

2021-04-14 00:00:00

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关键词：纳米微位移检测仪

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项目成果/简介:

本发明提出一种光学倍频的纳米位移计量传感器，包括激光器、偏振分光棱镜、1/4 玻片、角锥棱镜、平面反射镜、偏振片、光电探测器和底座。本发明的传感器采用光学倍频技术，直接在光学结构上将光程差进行 8 细分，同时采用偏振分光棱镜和 1/4 玻片组合减少了光能损失，保证了干涉条纹的强度，具有结构简单，精度高，测量范围大，抗干扰能力强等特点，并且相比于单路光束系统在某种程度上可减小非直线运动所造成的误差。

项目阶段:

产业化应用

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