硅片传输机器人

先进制造与自动化

硅片传输机器人是集成电路（IC）制造装备中的重要设备，也是IC制造装备中的关键技术。本硅片传输机器人的特点是高精度、高速度、高洁净，可满足半导体制造业中高精度、高净化的环境要求，控制系统采用基于PC平台、具有开放式体系结构和网络功能的机器人控制器。硅片传输机器人的技术指标已达到国外同类产品的水平。

硅片传输机器人是半导体制造业中必不可少的装备，其功能是实现不同规格的硅片在不同半导体制造设备以及同一半导体制造设备中不同工位之间快速、高效、可靠的转移。它可以广泛应用于具有高精度、高洁净度要求的半导体制造设备，也可推广应用于医药、化工等行业中，具有广阔的应用前景。

中试