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一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性
华中科技大学
2021-04-14
一种短波长光辅助硅片直接键合方法
本发明属于晶圆键合技术，为一种短波长光辅助硅片直接键合方法，其步骤包括：①清洗；②氧化性氨溶液活化；③将硅片用短波长光继续辅助活化，活化后取出；短波长光的波长范围为 100～400nm，短波长光照射光强为 5～30mW/cm<sup>2</sup>，活化时间为 0.5～30分钟；④预键合；⑤退火。经过短波长光辅助活化处理后的键合硅片对结合紧密，无需外压力作用就能实现硅硅直接键合。本发明所需设备简单，键合速度快，键合周期短，键合面积大，键合温度低，且在键合强度及键合可靠性上具有
华中科技大学
2021-04-14
一种三维微型模具的制造方法
本发明提供了一种三维微型模具的制造方法，在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形，将质量百分比 98％的H2SO4 与质量百分比 30％的 H2O2 按照体积比 2～4∶1 混合，采用此混合溶液对各硅片进行清洗，然后活化，再将活化后的硅片干燥，按层次迅速对准贴合，最后进行退火处理得到三维微型模具型腔。本发明能够制造出微米尺度的三维微型模具，具有精度高，成本低，柔性大的优点，适用于微齿轮轴、微阶梯轴、高深宽比三维微型结构等微机电系统(MEMS)器件模具的加工制造。
华中科技大学
2021-04-14
一种遥感影像圆形油罐自动检测方法
本发明公开了一种遥感影像圆形油罐自动检测方法，首先，对遥感影像进行 MHC 视觉显著变换得 到视觉显著图，再经过数学形态学增强，得到增强视觉显著图，利用 hough 变换在增强视觉显著图上圆 检测，得到疑似油罐区域；然后，对遥感影像进行 turbopixels 过分割，根据特征合并分割块，根据似圆 特征，得到疑似油罐区域；最后，结合由 hough 检测结果和似圆特征检测结果，利用油罐圆心与半径关 系和多特征进行 SVM 分类，过滤掉同心圆和非油
武汉大学
2021-04-14
一种反推水库入库流量过程的测算方法
本发明公开了一种反演水库入库流量过程的测算方法，包括步骤:步骤 1，观测水库坝前水位获得 水库观测水位信息，收集水库出库流量数据;步骤 2，考虑水库入库流量过程连续性，建立优化目标函 数;步骤 3，采用拉格朗日法对优化目标函数中反推水库容量求偏导，获得反推水库入库流量的解析公 式;步骤 4，采用解析公式获得反推水库库容，根据反推水库库容反推获得水库入库流量。本发明能保 证水库入库流量过程光滑，避免流量出现负值或较大波动。
武汉大学
2021-04-14
一种无人机曲率连续可调路径规划方法
发明公开了一种无人机曲率连续可调路径规划方法，包括以下步骤:第一步，路径曲率连续化， 利用参数化的 Catmull-Rom 曲线连接各路标点，通过优化插值方法保证连结点处曲率连续;第二步，计 算路径曲线各点曲率值，查找并标注曲率值超过规定阈值的曲线起点 Pointstart、终点 Pointgoal;第三步， 采用最小曲率圆转移法，利用曲率值单调变化的 Bezier 曲线连接 Pointstart、Pointgoal。与现有技术相
武汉大学
2021-04-14
一种轨道交通列流图自动编制方法
本发明涉及一种轨道交通列流图自动编制理论及方法。
西南交通大学
2015-02-22
一种视频摘要中事件与背景的融合方法
本发明公开了一种视频摘要中事件与背景的融合方法。该方法在前景检测与目标跟踪的基础上，将事件与背景的融合问题分成事件预处理、背景帧选择、事件与背景融合三个步骤。首先对事件进行预处理，包括对事件按面积大小排序并调整局部亮度；然后，用事件投票的方式选择最优背景帧，使尽可能多的事件落在该帧背景上；最后融合事件与背景，根据当前位置的像素点在背景帧上的状态标志值和在图像块上的二值前景值选择使用泊松图像编辑方法融合或加权融合
华中科技大学
2021-04-14
一种基于谐振的磁场发生装置及其设计方法
本发明公开了一种基于谐振的磁场发生装置及其设计方法，相比于常见的磁场发生装置，其主要创新在于大幅提高了电到磁的转换效率，实现了低噪声、低谐波磁场的产生。在确定磁场发生线圈和检流电阻规格后，计算它们在工作频率 f 下的串联阻抗 ZL；利用串联阻抗 ZL 推算谐振电流比 Iratio 的最大值；根据期望的谐振电流比 Iratio，滤波器截止频率 f1、f2，通带纹波推导滤波器参数；最后对磁场发生装置组装调试。
华中科技大学
2021-04-14
一种高电压锂离子电池的制备方法
本项目是一种高电压锂离子电池的制备方法。按锂离子电池的常规方法组装制备，正极材料为碳包覆正极复合材料LiCoPO4/C，负极材料为锂或碳，电解液为加入添加剂的常规有机电解液，所述添加剂为噻吩、联苯和呋喃中的一种或两种以上任意比例的组合，添加剂的质量百分比用量为常规有机电解液的0.05-2%。本发明的优点是：1）通过对高电压正极材料进行碳包覆，可在材料颗粒表面形成均匀的导电薄膜，有助于锂离子的嵌入与脱出；2)噻吩等添加剂的作用保证了电解液组分的稳定性。该方法工艺简单、易于工业化，通过正极材料的改性和
南开大学
2021-04-14