一种电容式三维风速风向传感器
本发明公开了一种电容式三维风速风向传感器,所述传感器包括第一微柱、第二微柱、衬底、第一空气层、第二空气层、第一层金属极板单元、第二层金属极板单元和第三层金属极板单元;所述第一微柱连接在衬底的顶面,第二微柱连接在衬底的底面,第一空气层、第二空气层和金属极板单元位于衬底中,第一层金属极板单元、第一空气层、第二层金属极板单元、第二空气层和第三层金属极板单元从上向下依次布设;第一空气层中设有第一微支点,第二空气层中设有第二微支点,第一微支点和第二微支点分别与衬底连接;第一层金属极板单元、第二层金属极板单元和第三层金属极板单元嵌在衬底中,可用引线引出。该传感器可以实现零功耗,同时提高风速测量的可靠性。
东南大学
2021-04-11