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一种热压头及由其组成的热压装置
一种热压头及由其组成的热压装置，属于热压头及热压装置，解决现有热压头压力调整繁琐、现有热压装置各热压头压力不够均衡的问题。本发明的热压头，加热组件和安装组件之间具有活塞缸，加热组件通过活塞缸相对于安装组件往复运动。所述热压头构成的热压装置，包括机架、第一压板、第二压板、第一往复机构以及热压头，各热压头的活塞缸并联接入压力控制系统，压力控制系统控制活塞缸的活塞两端压力差。本发明通过调节活塞缸内工作流体压力控制热压头的输出压力，压力调节过程便于控制；通过压力控制系统对热压装置的热压头进行多路控制，可以统
华中科技大学
2021-04-14
一种部件轴向对心检测装置的成像系统
一种部件轴向对心检测装置的成像系统，属于机器视觉成像系统，解决现有成像系统结构复杂、操作繁琐、精度不佳、影响对心操作问题。本发明中，支撑臂位于底座上并能够相对于底座上下调节，旋合连接的电子摄像机和光学镜头固定于支撑臂一端，固定于支座的平面镜和光源，连接于支撑臂另一端；光学镜头、平面镜和光源几何中心处于同一平面，平面镜与电子摄像机的成像平面呈 45°角；光源出射光线与电子摄像机的成像平面平行。本发明操作简单、无需过多调节、变换，可同时呈现物体两垂直方向的图像，不影响对心物体的空间结构及其操作过程，提高
华中科技大学
2021-04-14
一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性
华中科技大学
2021-04-14
一种六自由度水下机器人
本发明公开了一种六自由度水下机器人，包括壳体，壳体上设 置有主姿态调整推进组、主动力推进组和辅助姿态调整组，三者均包 括姿态调整装置，所述姿态调整装置包括导流罩、电机座、电机和螺 旋桨；主姿态调整推进组的三个导流罩呈等腰三角形布置且三者的中 心线均平行于 Z 轴，并且其中的两个导流罩的中心线所形成的平面平 行于 Y 轴，而另一个导流罩到这两个导流罩的距离相等；主动力推进 组的两个导流罩的中心线均平行于 X 轴，且这两个导流罩的中心线所 形成的平面平行于 Y 轴；辅助姿态调整组的导流罩的中心线平行于
华中科技大学
2021-04-14
一种重载精密减振器及其构成的减振系统
本发明属于精密减振技术领域，为一种重载精密减振器及其构成的减振系统。减振器包括阻尼可变的低刚度空气弹簧、低水平刚度的倒立摆机构和一组三自由度主动减振执行器。空气弹簧为由节流孔连通的内外环形双气室结构；倒立摆机构由主支承杆和两根以上的柔性摆杆组成，置于环形气腔内；主动减振执行器由三个正交布置的直线电机构成。重载精密减振器通过空气弹簧产生垂向大承载力，通过空气弹簧和倒立摆机构分别隔离垂向和水平向的振动传递，通过垂向和水平向直线电机作用力进行主动控制衰减振动。减振系统由三个以上的精密重载减振器呈多边形布置
华中科技大学
2021-04-14
一种短波长光辅助硅片直接键合方法
本发明属于晶圆键合技术，为一种短波长光辅助硅片直接键合方法，其步骤包括：①清洗；②氧化性氨溶液活化；③将硅片用短波长光继续辅助活化，活化后取出；短波长光的波长范围为 100～400nm，短波长光照射光强为 5～30mW/cm<sup>2</sup>，活化时间为 0.5～30分钟；④预键合；⑤退火。经过短波长光辅助活化处理后的键合硅片对结合紧密，无需外压力作用就能实现硅硅直接键合。本发明所需设备简单，键合速度快，键合周期短，键合面积大，键合温度低，且在键合强度及键合可靠性上具有
华中科技大学
2021-04-14
一种三维微型模具的制造方法
本发明提供了一种三维微型模具的制造方法，在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形，将质量百分比 98％的H2SO4 与质量百分比 30％的 H2O2 按照体积比 2～4∶1 混合，采用此混合溶液对各硅片进行清洗，然后活化，再将活化后的硅片干燥，按层次迅速对准贴合，最后进行退火处理得到三维微型模具型腔。本发明能够制造出微米尺度的三维微型模具，具有精度高，成本低，柔性大的优点，适用于微齿轮轴、微阶梯轴、高深宽比三维微型结构等微机电系统(MEMS)器件模具的加工制造。
华中科技大学
2021-04-14
一种阻尼器综合性能测试装置
本发明提供了一种阻尼器综合性能测试装置，平台上设有两条导轨，两导轨的上方各有一导向柱，两导向柱的一端通过前、后支座，另一端通过能在导轨上滑动的移动横梁固定于导轨上；前，后支座间设有伺服液压缸，其活塞杆穿过前支座连接左法兰；移动横梁面向左法兰的一侧设有右法兰；另有两推拉液压缸的前端连接移动衡梁，后端连接前支座；伺服液压缸上装有集成阀块，集成阀块上装有与伺服液压缸连通的大和小流量伺服阀，两流量伺服阀的进出口均装有插装式截止阀。本发明通过在插装阀间进行切换实现对阻尼器的动态和静态性能的测量，前后支座、移动
华中科技大学
2021-04-14
一种遥感影像圆形油罐自动检测方法
本发明公开了一种遥感影像圆形油罐自动检测方法，首先，对遥感影像进行 MHC 视觉显著变换得 到视觉显著图，再经过数学形态学增强，得到增强视觉显著图，利用 hough 变换在增强视觉显著图上圆 检测，得到疑似油罐区域；然后，对遥感影像进行 turbopixels 过分割，根据特征合并分割块，根据似圆 特征，得到疑似油罐区域；最后，结合由 hough 检测结果和似圆特征检测结果，利用油罐圆心与半径关 系和多特征进行 SVM 分类，过滤掉同心圆和非油
武汉大学
2021-04-14
一种基于偏振态控制的双档变焦透镜
本发明提供一种基于偏振态控制的双档变焦透镜，在光的前进方向上，依次设有起偏器、1/4 波片、 透镜 1 和透镜 2，透镜 1 和透镜 2 采用由纳米砖阵列构造的平面纳米砖透镜，纳米砖阵列中各纳米砖的 尺寸相同，相邻纳米砖的中心间隔相同，纳米砖的转角根据距离透镜中心距离确定。这种双档变焦透镜 的特点在于，仅需要将照射纳米砖超材料结构透镜的圆偏光的旋向改变(即 1/4 波片转动 90°)，两片纳米 砖超材料结构透镜的焦距值均会变成原来焦距值的相反数
武汉大学
2021-04-14