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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学 2021-04-14
一种高楼二次供水系统
一种高楼二次供水系统,其包括水位传感器、A/D转换器、主机控制芯片、从机控制芯片、继电器控制电路、电机、LED驱动电路、LED显示器;所述水位传感器采集含有水位数据的电信号并发送至所述A/D转换器,所述A/D转换器将所述电信号转换为水位数字信号发送至所述主机控制芯片;所述主机控制芯片将所述水位数字信号通过RS485传输至所述从机控制芯片,所述从机控制芯片接收所述水位数字信号并控制所述继电器控制电路接通或断开所述电机;所述主机控制芯片将所述水位数字信号发送至所述LED驱动电路,所述LED驱动电路接受所
安徽建筑大学 2021-01-12
巨峰 0.2级0.1级高精度直流分流器
产品详细介绍乐清巨峰计器配件有限公司是浙江一家生产经营分流器,直流分流器 电焊机分流器,高频电源分流器 的高新技术企业。  公司遵循科技是第一生产力的理论,充分利用自己的地域优势,聚集了一批具有高水准的科技人才,把现代科技同我国电力建设、生产的实际情况相结合,开发研制了具有高品质、智能化、实用轻便的系列电力测试产品。在生产经营过程中严格执行ISO9001质量体系标准,有效地保证了产品质量的先进可靠。因此受到了全国电力、电焊机、高频电源和通信电源等行业用户的好评。  “诚信服务、广交朋友”是巨峰公司坚定的经营理念,我们严格认真地履行合约,兑现承诺,强化售后服务的网络体系,以更新、更高的思想指导我们的服务,把更新、更高的产品奉献给您。让巨峰公司的努力化为您的满意,巨峰公司全体员工期待您来浙江乐清、来乐清巨峰计器配件有限公司考察指导。
乐清巨峰计器配件有限公司 2021-08-23
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺,属于微机电系统的封装方法,解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小,容易损坏,以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括:淀积吸气剂步骤;淀积薄牺牲层步骤;淀积缓冲腔牺牲层步骤;淀积厚牺牲层步骤;制作封装盖步骤;刻蚀释放孔步骤;去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短,密封质量低,封装尺寸大,工艺与标准 IC 工艺不兼容,成本高的问题,从而保证最里面的腔体气压;同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学 2021-04-14
二丙二醇生产技术
二丙二醇也称一缩二丙二醇。本技术以丙二醇、环氧丙烷为主要原料,采用低压液相法催化合成二丙二醇。同现有工艺相比,本技术具有设备投资小,催化剂活性高,操作能耗低,产品收率高等优点,具有较强的竞争优势。 对于年产3000吨二丙二醇,设备投资约400万元。主要设备包括:反应釜、贮罐、产品精馏塔等。
华东理工大学 2021-04-13
二丙二醇生产技术
二丙二醇也称一缩二丙二醇,本技术以丙二醇、环氧丙烷为主要原料,采用低压液相法催化合成二丙二醇。同现有工艺相比,本技术具有设备投资小,催化剂活性高,操作能耗低,产品收率高等优点,具有较强的竞争优势。 对于年产3000吨二丙二醇,设备投资约240万。主要设备包括:反应釜、贮罐、产品精馏塔等。
华东理工大学 2021-04-13
矿热炉二次无功补偿控制系统及控制方法
西安科技大学机械工程学院自 2004 年开始对冶金系统无功补偿技术和控制方法进行研究,目前此项技术已经成熟并在全国开始推广应用。该项目授权发明专利 1 项,实用新型专利 1 项,软件著作权 1 项。成果及开发装备在辽宁省本溪县大兴电石厂的 12500kVA 电石炉、湖南长乐铁合金有限公司的 16500kVA 硅锰炉、石家庄三环锰硅科技有限公司的 12500kVA 铬铁炉上应用并取得良好效果。
西安科技大学 2021-04-11
超临界二氧化碳发电系统技术
成果完成人瞄准1000MW超临界二氧化碳燃煤(sCO2)发电系统,主持了国家重点研发计划项目“超高参数高效二氧化碳燃煤发电基础理论与关键技术研究”。 本成果从系统和部件两个层面进行研究,被推荐为2020年度国家重点研发计划重点科技成果,并在2021年1月27日科技日报上做了报导。具体成果如下: 1、sCO2锅炉模块化设计:sCO2循环流量是水蒸气机组的6-8倍,导致S-CO2锅炉严重堵塞,发现机组效率惩罚效应。首次提出1/8分流减阻原理,在保持吸热量及循环流量不变条件下,将压降降低为传统设计的1/8,由此提出模块化锅炉设计,将锅炉压降减小到与水蒸气锅炉相当或更低水平,彻底解决大压降难题。 2、烟气热量全温区吸收:针对sCO2循环适合中高温热源,单个sCO2循环无法吸收烟气全温区热量,提出顶低复合循环,实现热量全温区吸收。提出能量复叠利用原理及设备共享,完全消除顶底循环效率差并简化系统。1000MWe级燃煤sCO2发电效率达到~50%,比水蒸气机组高3-4个百分点。 3、锅侧和炉侧综合调温方法:针对sCO2进入锅炉温度较高,抬高受热面温度,提出锅侧和炉侧综合调温方法,发明“冷热匹配、层级降温”原理,提出“上大下小+双炉膛+烟气再循环”的创新型锅炉设计。建成压力达26MPa的超高参数sCO2传热系统,提出超临界传热类沸腾理论,结合实验数据,给出了锅炉管发生传热恶化的临界判据。诞生第一台超临界二氧化碳燃煤锅炉原理样机。 本成果阐明了能量复叠利用原理,是能量梯级利用的继承和发展,消除了复合循环中顶循环和低循环的效率差,最大限度挖掘了sCO2燃煤发电系统的效率优势。并首次阐明超临界流体分子尺度下的非均匀物质结构,颠覆了人类对超临界流体物质结构的认知,首次将亚临界压力下的多相流体理论体系引入到超临界传热中,初步实现了亚临界和超临界压力下能量传递与转换理论的统一,达到国际领先水平。
华北电力大学 2022-07-06
第五届教创赛同期活动预告:教师教学能力提升系列交流活动之二 新时代拔尖创新人才自主培养的思考与实践学术活动
践行强国育人使命 培育时代创新英才
高等教育博览会 2025-07-30
一种燃煤烟气SO3梯级深度脱除系统
本实用新型涉及一种燃煤烟气SO3梯级深度脱除系统,所述系统包括SCR脱硝装置、碱性吸收剂喷射装置、空预器、调温增效装置、静电除尘器、脱硫塔和湿式静电除尘器,所述调温增效装置包括降温段和升温段,所述SCR脱硝装置、空预器、调温增效装置降温段、静电除尘器、脱硫塔、湿式静电除尘器、调温增效装置升温段沿烟气脱除方向顺次设置;所述碱性吸收剂喷射装置设置的位置为SCR脱硝装置之前,SCR脱硝装置之后、空预器之前,或空预器之后、调温增效装置降温段之前。本实用新型通过各污染物控制装备对烟气中的SO3进行梯级深度脱除,实现SO3的排放浓度小于5mg/Nm3。
浙江大学 2021-04-13
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