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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
人工神经网络芯片的研发与产业化
随着机器学习与人工智能的发展,传统的CPU已经无法满足大规模神经网络训练的需要。在当前机器学习与神经网络的热潮下,美国互联网和IC巨头纷纷推出自己的神经网络/人工智能芯片,抢占这一未来市场。我们研发的神经网络/人工智能芯片可以验证多种深度学习算法及应用,具有完全自主知识产权,是将来可以挑战美国人工智能芯片领域的一个重要突破。
电子科技大学 2021-04-10
制浆造纸清洁生产与水污染全过程控制关键技术及产业化
齐鲁工业大学(山东省科学院院)生物基材料与绿色造纸国家重点实验室韩文佳副教授参与完成的“制浆造纸清洁生产与水污染全过程控制关键技术及产业化”项目具有突出的科技创新,提升了造纸行业清洁生产和绿色制造水平,为实现习主席提出的打好污染防治攻坚战的水污染治理做出重大贡献。 该项目以产学研用创新平台联合攻关突破覆盖造纸行业化学机械法制浆、化学法制浆、废纸制浆及造纸等所有主要工艺流程的清洁生产技术,形成了化学法制浆清洁生产节水减排集成技术及装备、化学机械法制浆废水蒸发燃烧资源化技术、废纸近中性脱墨制浆及造纸白水梯级循环回用集成技术等标志性成果,实现了造纸行业水污染全过程控制,解决了造纸行业面临的环境与资源约束难题。所研发的技术是国家发展改革委及原国家环保部等部委鼓励推荐的先进技术,为造纸行业新旧动能转换和绿色制造提供了示范。经第三方评估和鉴定,该项目技术先进、成熟可靠,清洁生产技术水平达到国际领先,部分关键技术填补国内外空白,已获授权发明专利30件、发表SCI论文36篇,出版专著3部。研发的技术已在10家大中型企业推广应用,近三年累计实现产值876.79亿元、利润168.29亿元。
齐鲁工业大学 2021-04-22
农业化学节水调控关键技术与系列新产品产业化开发及应用
一、成果简介: 2010年,我院杨培岭教授等人完成的《农业化学节水调控关键技术与系列新产品产业化开发及应用》获得国家科技进步二等奖,该项目突破传统单一的节水技术模式,采用多类型化控制剂联合应用,系统研究农业化学节水调控技术领域新产品研发、工业化生产、技术配套各环节中的关键技术问题,建立综合体系,全面提升降水-土壤水-作物水-大气水转化效率。 二、技术指标: 1.农业化学节水协同调控技术及新
中国农业大学 2021-04-14
智能家居室内空气质量检测、评价与监控系统
北京工业大学 2021-04-14
冷却肉生产及产业化新技术
研发阶段/n应用"减菌化工艺"原理,研究了冷却方式、时间、温度对初始细菌数的影响,形成了降低冷却猪肉初始菌数控制技术;开发了冷却肉嫩化保鲜综合技术,研发了纯天然冷鲜肉保鲜剂,使半真空包装保鲜期达到26-30天,托盘包装保鲜达到16-21天,货架期内,肉色稳定,商品状态很好;创建了先进的冷却肉"减菌化生产新工艺"和冷却肉的SVP包装新方法,此工艺有效地控制了冷却肉汁液流失,将汁3-7%液流失率降低到1-2%,托盘包装在18天后才出现微量汁液,效果明显。应用前景:我国肉类食品生产一直保持着快速持续发展的
华中农业大学 2021-01-12
双孢蘑菇产业化技术开发
研发阶段/n本成果推广了双孢蘑菇种植新技术包括培养料科学配方新技术、发酵技术、水温气协调控制新技术。此外,在双孢菇产品加工方面也有新的突破,增加了保鲜菇和速冻菇两个加工品种。双孢蘑菇的一、二极菌种推广使用液体菌种,新上液体菌设备5套。三级菌种使用固体菌种,新建培养室2000平方米,购置灭菌锅5台、接种设备50套。年生产菌种规模从每年的100万瓶扩大到200万瓶。技术水平:武汉市科学技术成果(WK2009040032)应用前景:至2006年,产业化指标分别为:固定资产投资507万元,产值为17580万
华中农业大学 2021-01-12
雷朝滋:推动高校科技成果加快转化为现实生产力,更好服务经济社会高质量发展
5月28日,作为2023年中关村论坛国际技术交易大会板块重点活动之一,世界知名高校技术转移发展大会于中关村软件园国际会议中心成功举办。教育部科学技术与信息化司司长雷朝滋在致辞中表示,我们将持续推进高校技术转移体系和能力的建设,推动高校科技成果加快转化为现实生产力,更好服务经济社会高质量发展。  教育部科学技术与信息化司司长 雷朝滋 在“2023中关村论坛”世界知名高校技术转移发展大会上的致辞  尊敬的各位来宾,女士们、先生们、朋友们: 大家上午好!很高兴参加世界知名高校技术转移发展大会,与各位共同交流高校科技成果转移转化工作。我谨代表教育部科学技术与信息化司向与会各位嘉宾表示诚挚的欢迎。 5月25日,习近平主席专门向中关村论坛发来贺信,充分体现了中国政府对科技创新和国际合作的高度重视。创新是引领发展的第一动力。新时代十年,中国把科技创新摆在国家现代化建设全局的核心地位,推动科技事业发展取得显著成就,进入创新型国家行列。世界知识产权组织全球创新指数排名显示,2022年中国名列第11位,连续10年稳步提升。 高校作为科技第一生产力、人才第一资源、创新第一动力的重要结合点,是国家创新体系的重要组成部分,是科技成果的重要供给侧。近年来,中国高校坚持面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康,不断加强创新体系建设,加速汇聚创新资源,积极开展国际科技交流合作,科技创新综合实力实现跃升,取得一批重大科技突破,培养了一大批高质量创新人才,为经济社会高质量发展提供了有力支撑。据统计,2021年度高校专利授权数量超过30万项,通过转让、许可等方式转化专利的合同金额达88.9亿元。 在新的起点上,中国政府提出“教育、科技、人才是全面建设社会主义现代化国家的基础性、战略性支撑”。面临新的要求和任务,我们认为与世界高水平大学相比,中国高校科技创新支撑服务产业发展的整体水平仍存在不小的差距,科技创新赋能经济社会发展的潜力还有待进一步发挥。 为此,教育部出台《关于加强高校有组织科研 推动高水平自立自强的若干意见》,与科技部、国家知识产权局等部门合作,联合出台了《关于提升高等学校专利质量 促进转化运用的若干意见》,完善高校知识产权全流程管理体系,推行专利申请前评估和职务科技成果披露制度;加强高校有组织科研,推动企业主导的产学研深度融合,加强高质量科技成果创造,加快实现产业化;联合开展高校专业化国家技术转移机构建设,持续提升高校成果转化和技术转移专业化水平;联合推进国家大学科技园建设,探索布局未来产业科技园,推动高校科技成果与产业更好对接,培育新的经济增长点。 今后,我们将持续推进高校技术转移体系和能力的建设,推动高校科技成果加快转化为现实生产力,更好服务经济社会高质量发展。 一是深化产学研协同创新。支持高校瞄准经济社会发展需要特别是产业的需要,强化与龙头企业、中小企业的产学研合作,加强科学研究系统布局,推动科技创新与应用需求更加紧密结合,加快创新链产业链深度融合,实现科技创新与市场需求的紧密联系,加强高质量科技成果创造,支撑推动产业高质量发展。 二是提升技术转移效率。积极借鉴国外高校技术转移先进经验做法,探索高校科技成果转化的新模式新机制,大胆创新技术转移机制、大力强化专业化技术转移机构和人才队伍建设,加快促进高校科技创新成果向现实生产力转移转化。 三是加强国际交流合作。希望通过此次大会,搭建起技术转移交流合作的桥梁,持续深入推动促进国内外高校开展交流合作,相互借鉴、相互促进,积极吸纳更多国内外技术成果在中国市场转移转化,也推动中国高校的科技成果为更多国家和人民所享、所用,共同造福人类。 最后,预祝大会取得圆满成功!也欢迎更多的国内外高校积极参与世界知名高校技术转移发展大会,加强交流,共享经验,共同发展。谢谢大家!
高校科技进展 2023-05-31
嘉宾观点抢先看 | 李春明:让职业院校成为人才“蓄水池”和产业“助推器”
在第63届高等教育博览会 建设教育强国·高等教育改革发展论坛即将举办之际,中国高等教育学会联合人民网教育频道推出“建设教育强国”系列访谈栏目,重点邀请东北地区高校领导、专家学者,围绕活动主题:融合·创新·引领:服务高等教育强国建设,畅谈思考体会、凝聚发展共识。
人民网-教育频道 2025-05-16
非煤矿山安全评价
1.项目简介:目前,我省的非煤矿山受国家整体生产力水平落后的制约,存在着设备落后、人员素质差、安全投入少等状况,加上其中非国有的中小型矿山占95%以上,非煤矿山企业整体安全生产形势令人堪忧。 国家安全生产监督管理局规定,非煤矿山企业必须做安全评价。通过对非煤矿山企业做安全现状评价,可解决企业在管理、设备、生产工艺方面的安全问题,对提高企业安全管理水平大有帮助。 我院于2004年12月依托湖北华邦安全科技有限公司成立了非煤矿山安全评价部,对省内非国有的非煤矿山企业做安全评价。
武汉工程大学 2021-04-11
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