本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置，其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面，再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝，由光电探测器接收光强信号，然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量，通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量，最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成，信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式，具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.

CMOS成像芯片广泛应用于手机、相机、安保、工业、医疗、科学等众多应用领域。该领域的绝大部分市场和技术被国外厂商垄断。成像芯片大量依赖进口存在重大技术风险和政治风险。该项目通过产学研合作，从器件、电路及工艺等多层次突破了高性能CMOS成像芯片的关键技术，形成了一批国际、国内发明专利以及集成电路布图设计等知识产权，开发了国际首款128级TDI型CMOS图像传感器芯片，打破了国外在高端成像技术上的垄断。本项目技术成果达到国际领先水平，且相关成像技术已在产业界得到应用。

高精密微小几何特征零件在航空航天、国防、医疗等领域的产值已超过千亿美元。目前，我国主要用传统设备对这些零件进行微细铣削，存在着精度低、耗能高、占地空间大等突出问题。另外，超精密微细铣削设备依赖进口，价格昂贵，且高端超精密微细铣削设备还对我国禁运，严重阻碍了我国高精密微小几何特征零件的精密加工与相关应用行业的发展。通过本项目高精密微细铣削加工关键技术研发与应用，解决了以上突出问题，取得了高精密微细铣削加工关键技术与装备的重大突破，打破了国外技术封锁。创新研究成果如下： 1.发明了系列超精密微细铣削机床，提出了小型超精密微细铣削机床创成式精准设计方法，解决了超精密微细铣削机床的创新研发问题。与国内目前用于微细铣削的主要加工机床相比，精度提高了一个数量级、节约了70%的能源和75%以上的占地空间。 2.发明了系列微细球头铣刀，切削部旋转包络球面直径为50μm～1000μm，前刀面与后刀面均为直纹面，从原理上保证了切削刃轮廓制备误差≤±2μm。提出了微细铣刀的直纹面组合设计方法，研发出了其制造关键技术，解决了超硬微细铣刀的创新研发问题。 3.发明了微细铣削用工件姿态微调整装置，工件上表面调整精度达1.7μm，减少了超精密微细铣削时40%的工件调整时间。提出了微细铣削工件姿态微调整夹具设计方法与技术，解决了工件姿态微调整夹具装置的刚度与阻尼优化匹配的问题。 4.提出了微细铣削的微观关系模型与微细铣削临界工艺参数分析优化方法，解决了塑性材料微细铣削尺度效应所对应临界条件的判定、硬脆性材料塑性切削判定准则不统一的问题，为超精密微细铣削装备研发与应用提供了关键支撑理论与技术。 本项目研究成果通过了山东省教育厅组织的鉴定，鉴定委员会认为，该研究整体技术达到国际先进水平，所研发的微细球头铣刀达到国际领先水平。 取得自主知识产权国家发明专利23项，实用新型专利5项，发表论文67篇，其中被SCI/EI收录47篇。所自主研发的关键技术，市场需求度高，不但能够替代进口产品，而且具有国际市场竞争的优势，社会效益显著。 本项目成果附加值高，已在多家企业推广应用，近3年，新增产值149590.2万元，新增利润21520.6万元，经济效益重大。

该成果提出了小麦机械化秸秆还田条件下的因茬精准技术组合模式、因墒耕整播种方式、因种肥药施用模式、因苗实时诊断与管理技术、因逆实时防御补救技术，集成小麦“五因”（因茬、 因墒、 因种、 因苗、 因逆） 高产栽培技术模式和 5 套技术体系。 通过多年多点高产攻关、示范、辐射推广，适合大面积推广应用。

慢回弹填充泡沫是将聚氨酯泡沫在水溶性胶黏剂中进行浸渍、挤压、干燥后，得到具有慢回弹性的软泡材料。这种填充泡沫由于密度较大，对空隙进行填充后能够起到吸音、隔热的效果，而且由于其慢回弹的特性，在用作密封填充使用时，相比普通密封条具有更好的密封效果。这种泡沫广泛用于汽车门板、高铁密封及各种高端座椅等填充领域。本成果制备的胶黏剂具有水溶性好、浸渍效率高的特点，可以对开孔聚氨酯泡沫直接浸渍得到慢回弹填充泡沫。

水膨胀性密封胶是一种新型功能性密封胶，它具有显著的疏水性能，在有水份存在的情况下胶液即可逐渐固化，同时体积会膨胀5～6倍，达到堵漏、填缝、防渗、粘接的目的。它可用作为建筑堵漏防渗密封胶、隔热隔音材料的填充剂、飞机场跑道水泥路面的密封剂，大坝的水下防渗堵漏剂，另外由于其对金属、石材、纸张、水泥块的有良好粘接效果，也可用作于这些材料相互之间的粘接剂。本产品有两种类型的系列产品：单组分产品系列和双组分产品系列。针对客户的不同要求，可以选择不同类型的产品，如固化时间的要求，固化后的体积膨胀系数，固化后的硬度要求等。

黄原胶是由野油菜黄单胞菌产生的胞外多糖，由于其具有许多独特的物理化学性能而在石油工业、食品工业和日用化工产品等20多个行业中获得广泛应用，是目前世界上生产规模最大且用途极为广泛的微生物多糖。全世界年产黄原胶约15万吨，我国在20世纪末年产约2000吨左右，由于种种原因生产厂的产量还未达到设计能力。而我国是应用黄原胶的大国，供需矛盾十分突出，据专家预测，随着

从导电胶的重要性、技术和市场需求、国内外生产和研发的现状来看，高端导电胶是直接影响我国半导体行业能否健康发展的核心材料之一。 本项目重点探索树枝状银包铜在导电胶方面的性能与应用，为设计制造低成本高导电绿色环境友好型导电胶提供坚实可靠的研究思路和科学理论依据。 针对低成本高导电树枝状银包铜粉导电胶的开展，该项目实现既能满足电子元器件的高导电需求又具有低温快速固化、优异高温高湿稳定性以及高强度等优异性能、且比现有复合导电胶导电性能更优、稳定性更高、成本更低、机械强度更高的结

针对普通油墨的性质，专门设计和研制的适于普通油墨印刷专用胶辊胶料。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 UV胶辊胶料：针对UV油墨与普通油墨的不同性质，设计和研制出UV油墨印刷专用胶辊胶料。项目特色：硬度可根据印刷需求在35～95（邵尔硬度）范围内调整；优良的耐UV油墨和清洗剂侵蚀能力；优良的耐酸、碱性化学物质能力；高弹性及良好的亲墨性满足油墨的有效传递；优良的耐臭氧破坏性；优良的力学性能；优良的尺寸稳定性，保证高精度、高品质印刷需要。 酒精润板辊胶料：针对印刷中水墨传递过程，专门设计和研制的适于普通油墨印刷的酒精润板专用胶辊胶料。项目特色：高弹性及良好的亲水性满足水墨有效传递；优良的耐腐蚀和清洗剂侵蚀能力；优良的耐酸、碱性化学物质能力；优良的耐臭氧破坏性；优良的力学性能；优良的尺寸稳定性。 靠版胶辊胶料：针对普通油墨的性质，专门设计和研制的适于普通油墨印刷专用胶辊胶料。项目特色：硬度可根据印刷需求在30～60（邵尔硬度）范围内调整；优良的耐油墨和清洗剂侵蚀能力；高弹性及良好的亲墨性满足油墨的有效传递；优良的耐臭氧破坏性；优良的力学性能；优良的尺寸稳定性。

产品详细介绍 产品名称                                           托马斯高温导热胶（THO4074） 概       述 本品系改性环氧树脂胶粘剂，单组份，加热快速固化具有优越的电气性能和机械性能，耐热导热性好，化学稳定性和耐电晕性好、粘接强度高，操作简便。 适用范围 适用于电视机、工业炉冷却臂、大功率LED照明、电力电容器、热继电器、监视显示器、航天、航空、通讯、雷达、耐热骨架片等中工作的电热器芯片、电热器护片、垫片、电子管片、灯泡片等发热部件的粘接和密封同时达到优良的导热以及抗热震效果。 性   能   特   点 ·外观：单组份浅灰色黏稠膏状体（颜色可调整），无固体机械颗粒。 固化温度 固化时间 固化温度 固化时间 100℃ 60M 120℃ 30M 130℃ 20M 140℃ 10M ·耐候性、耐久性、耐紫外光性能优良。 。粘接强度高、有良好的电气性能和机械性能， 。耐热以及卓越的导热性，化学稳定性和耐电晕性能优。 ·适应温度范围广，粘接后在较高的温度下仍有较好的粘接效果。 ·粘接表面无需严格处理，使用方便。 ·耐介质性能优良，耐油、水、酸、煤油、乙醇、碱等。 ·安全及毒性特征：完全符合欧美质量标准，达到ROHS认证。 ·贮存稳定性较好，贮存期为6个月。（≤35℃） 主要技术性能指标如下：硬度 shore D 90 耐温范围:-48－+800℃(真空条件)  体积电阻25℃ 1×1015Ω.cm     表面电阻 2.5×1015Ω                  耐电压20-25kV/㎡  粘接强度:（Al+Al）常温:拉伸强度≥25MPa;     剪切强度≥18 MPa 200℃:拉伸强度≥3－5 Mpa  280℃≥1．2—1．3Mpa 使用 方法 1、将被粘物除锈、去污、擦净。 2、将调好的胶液涂于被粘物表面，合拢、压实、静置加热。 注意 事项 1、操作环境注意通风。 2、胶液如触及皮肤，可及时用肥皂水冲洗. 3、未用完的胶应盖好，置于阴凉通风处。如果有冷藏条件即更好。                                                                                        该版权属于成都托马斯科技2005-2011所有