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一种光刻掩模优化设计方法
本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法，该方法首先依据表 征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级，在粗网格上快速求解掩 模，然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网 格上进行细化校正，最终实现了掩模的快速优化。
华中科技大学
2021-04-11
微纳米压印光刻工艺及装备
微纳米结构成形是光电子制造中的核心工艺之一。压印光刻克服了传统光学光刻中光学衍射效应的限制，是一种经济、高效、高分辨的结构成形方法。 正在探索的压印工艺方法包括：UV-NIL、模板电诱导自组装纳米成形、电润湿驱动纳米压印等。 正在探讨压印光刻的应用领域包括：集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)、生物微流控、光波导、光或磁存储、有机光电子、平板显示等器件的制造。
西安交通大学
2021-04-11
超衍射极限纳米光刻机技术
研发阶段/n1、在该方向发表论文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申报和获得该方向相关发明专利8项。其中1项授权转让给Facebook，Sony和中国一家企业。在华中科技大学申报5项发明专利，依托武汉舒博光电技术有限公司申报2项发明专利。。3、研发出2代超分辨纳米光刻样机。。4、配备光学装备开发专门团队，初步建成光学精密制造和检测平台。
华中科技大学
2021-01-12
一种光刻掩模优化设计方法
本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法，该方法首先依据表征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级，在粗网格上快速求解掩模，然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网格上进行细化校正，最终实现了掩模的快速优化。
华中科技大学
2021-04-14
用于浸没式光刻的浸液温控装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合，
华中科技大学
2021-04-14
铝表面保护胶
一、 项目简介： 利用环氧丙烯酸酯以及其他助剂经特殊工艺加工制得。二、主要功能及技术指标： 本胶在UV下5秒内固化，其膜在90℃~180℃下弯曲不断裂，膜硬度为3H-4H，比进口胶好。三、市场分析及预测： 本产品可用于空调、灯和手机等外壳上铝材与铝合金得保护，用量巨大。产品生产中无“三废”，应用时无有机溶剂放出，使用安全。四、经济效益： 项目投资15万元（不含检测设备），需较多流动资金。毛利润50%~60%,按年产量1000吨计，毛利4000万/年。
武汉工程大学
2021-04-11
快速固化光敏胶
内容介绍： 该类胶粘剂对玻璃、金属、木材纸质基材具有很好的粘接性，对一些 塑料制品也具有一定的粘接性，可用于这些材料的粘合。在500W以上功 率的紫外光照射下，可以在30s-2min内迅速固化。性能指标：
西北工业大学
2021-04-14
胶棒(附毛皮)
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
无甲醛生物胶技术
无醛胶主要用于胶合板、纤维板、刨花板生产，也可以用于细木工板、实木复合地板、刨花板贴面、LVL、细木工板。由于采用可在再生资源-大豆为原料，无醛胶可以减少我国人造板业对石油资源的依赖。在胶合板的生产过程中，采用无醛胶，可以保护工人的健康。 随着我国人民生活水平的提高，广大消费者越来越关注室内甲醛污染问题。采用无醛胶生产的胶合板产品不含甲醛，可以保护广大消费者，尤其是婴幼儿、少年儿童和孕妇的身体健康，符合“绿色、环保”的家居潮流。目前胶合板厂使用的脲醛胶均含甲醛，对人体健康有严重损害，无醛胶作为脲醛胶换代产品，今后几年内将逐步取代脲醛胶，具有十分可观的市场潜力，国内的潜在市场规模在30亿元以上，更为重要的是，作为人造板行业的“核心技术”，无醛胶将会导致整个行业“重新洗牌”，并且带动300亿元以上的产业经济规模，经济效益和社会效益极为显著，这是一个产业升级的历史性机遇。 技术特点 1．该产品以大豆为原料，生产过程无“三废”排放，属于“清洁生产技术”； 2.醛释放经国家林业局南京人造板质量监督检验站检验，符合《GB/T9846-2004 胶合板》中“Ⅱ类胶合板”质量要求，甲醛释放量符合日本F☆☆☆☆级标准和美国最新的P2标准（甲醛释放量≤0.05ppm）； 3.压强度好，并且不受冬季低温的影响； 4.用前不需要调胶； 5.品可以在20℃常温下密闭储存1年。
上海理工大学
2021-04-11
纸张表面施胶剂
可以量产/n因纸张浆内施胶和溶剂型施胶剂等造成环境污染大，本项目为水剂乳液型苯丙纳米施胶剂，粒径在100nm左右，污染小、粘度低、固含量为30%，该稳定的纳米阳离子聚合物乳液可直接用于纸张表面施胶, 得到很好的施胶效果。
湖北大学
2021-01-12